继之前抛光技术获五国专利后，绿能（3519）今日宣布独创晶片切割设备，再以「晶片线切割机流体稳定过滤装置」获得发明专利，凸显绿能高阶技术能力。

 

绿能总经理林士源表示「晶片线切割机流体稳定过滤装置」已获得到中华民国专利，并已在中国专利审查过程，预估将可进一步取得认可。 绿能总经理林士源表示「晶片线切割机流体稳定过滤装置」已获得到中华民国专利，并已在中国专利审查过程，预估将可进一步取得认可。

 

绿能表示，晶片切割良率与产出率，是成本控制与晶片品质的重要关键；切片制程的细微碎粒，将造成目视难及的晶片瑕疵。绿能以高阶晶片为主，需要全数排除可能瑕疵，以确保客户端制程顺畅，前一代设备因无过滤效果，除需定期清理切片设备，且因机体沉重，拆卸费时费工，影响产出效率。

 

而为了兼顾良率并增加产出量，绿能研发专属切片技术，以新式稳定流体与快拆过滤装置，搭配特殊设计喷嘴，过滤细小碎晶，加上切削液不易残留且拆卸轻便，可提高切片良率并降低保养工时，减少料源耗损，同步降低制造成本。

 

绿能指出，此专利技术「晶片线切割机流体稳定过滤装置」已获得到中华民国专利，并已在中国专利审查过程，预估将可进一步取得认可。

 

 

 

新闻来源:自由时报